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技術參數 |
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工作溫(wen)度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最(zui)高淬火壓力(li)(絕對值) |
12 |
1.9 |
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工作(zuo)真(zhen)空度范圍[mbar] |
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低真空 |
10-1 |
10-1 |
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高真空(kong) |
10-4 |
10-5 |
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有效工作(zuo)區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
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加(jia)熱(re)元件材料 |
石墨 |
鉬 |
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隔熱層 |
特殊石墨氈，可選擇覆蓋CFC |
鉬+不(bu)銹(xiu)鋼 |
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機(ji)械泵抽(chou)氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
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羅茨泵抽氣(qi)速率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機械(xie)泵抽氣速率（可(ke)選）[m3/h] |
300 |
300 |
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羅茨泵抽(chou)氣速率 （可(ke)選）[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵(beng)抽氣速率（可(ke)選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維持泵(beng)抽(chou)氣速率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
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控(kong)制系統 |
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總連(lian)接負荷(he)[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機負荷(he)[kW] |
115 |
75 |
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最小水(shui)壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最大水流(liu)量[m3/h] |
40 |
50 |
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溫度(du)均勻性[℃] |
正(zheng)負(fu)5度(du) |
正(zheng)負5度 |